울산테크노파크 ULSAN TECHNOPARK
- 도달진공도: 5x10-6 Torr이하 - 배기속도: ATM ~ 8x10-5 Torr/30Min이내 - 진공기밀도: 5.0 x 10-10 Torr.L/Sec이하 - 코팅챔버의 크기: Ø1,000x1,200h(mm)
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