울산테크노파크
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장비지원(정밀화학)


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게시판 내용


시설명 DLC Coating System
제조사 및 모델명 제조사 : ㈜ 제이앤엘 테크 , 모델명 : Carbozen 1200
사용용도 내마모성을 요구하는 산업 부품 및 금형, 공구 등에 적용 , PVD, PECVD 공정∙설비를 활용한 신기술 개발
장비분류 고분자·나노융합소재
담당자 및 연락처 강석규 전임 Tel) 052-219-8798 , skkang@utp.or.kr
시험 기간 단위
상세내용

- 도달진공도:  5x10-6  Torr이하
- 배기속도: ATM ~ 8x10-5 Torr/30Min이내
- 진공기밀도: 5.0 x 10-10 Torr.L/Sec이하
- 코팅챔버의 크기: Ø1,000x1,200h(mm)


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