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장비지원(정밀화학)

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장비지원
장비지원(정밀화학)

게시판 내용

	시설명	Thin Film Thickness Analyzer
	제조사 및 모델명	제조사 : KLA - Tencor , 모델명 : D - 600
	사용용도	미세한 Tip을 접촉시켜 박막 및 코팅막의 단차를 측정하는 장비
	장비분류	고분자·나노융합소재
	담당자 및 연락처	강석규 전임 Tel) 052-219-8798 , skkang@utp.or.kr
	시험 기간 단위
	상세내용	- Stylus Force (mg) : 0.03~15(Low Force) - Vertical Range (㎛) : 1200 - Repeatability (nm) : 0.5 - Stylus Tip (㎛, Radius) : 2 - 관측범위(mm) : 150 x 178

담당자 : 이상윤
연락처 : 052-219-8754
E-Mail: yunnylee@utp.or.kr

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