울산테크노파크 ULSAN TECHNOPARK
- 수직분해능 : 0.8 nm
- 레이저측정속도(면): 4 ~16 Hz
- 해상도 : 0.12 μm
- 높이 측정 재현성 : 0.012 μm
- 수평계측기능: 자동 폭 측정, 평면계측, 거칠기
- 거칠기 측정: 선 – JIS 2001, 면 – ISO25178
- 측정원리 : 핀홀 공초점 방식
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