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장비지원(정밀화학)


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시설명 Non-contact 3D Measurement Microscope
제조사 및 모델명 제조사 : Olympus , 모델명 : OLS4100
사용용도 코팅/필름의 표면조도(거칠기) 측정 , 기준면에서 함몰·돌출된 부분의 체적, 표면적, 단면적, 높이 등 측정 , 투명체의 막 두께 측정
장비분류 고분자·나노융합소재
담당자 및 연락처 이성신 전임 Tel) 052-219-8793 , dltjdtls29@utp.or.kr
시험 기간 단위
상세내용

- 수직분해능 : 0.8 nm

- 레이저측정속도(): 4 ~16 Hz

- 해상도 : 0.12 μm

- 높이 측정 재현성 : 0.012 μm

- 수평계측기능: 자동 폭 측정, 평면계측, 거칠기

- 거칠기 측정: – JIS 2001, – ISO25178

- 측정원리 : 핀홀 공초점 방식


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